根據CEMS煙氣在線監測系統流程可知，任一環節故障均會導致測量數據異常。當出現數據異常的情況，根據實際情況，做出初步判斷，從故障可能性最大的部件開始進行逐項排查，直至設備運行正常。

（1）分析儀零點或量程漂移。分析儀的零點或量程漂移不會直觀表現出來，只能通過比對分析，判斷是否出現零點或量程漂移。

（2）分析儀顯示氧量超過或者低于正常值。出現氧量測量值高出正常值時，檢查取樣管路是否存在泄漏；氧量低或者無顯示時檢查氧量傳感器是否正常，否則予以更換。

（3）氣路中的水分含量大。檢查取樣探頭及伴熱管線加熱裝置工作是否正常；反吹取樣管路，排除管路中的水分。

（4）分析儀故障。分析儀損壞除設備老化以外，多為樣氣預處理不好導致。對分析儀進行維修或更換，同時需檢查采樣管線加熱情況和預處理設備工作情況。